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mechanical exfoliation of single-layer graphene on high-resistivity Si/SiO2
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基础信息
分类:待分类
支撑论文:1
别名数:1
更新时间:2026年5月25日 13:40
版本占位
当前版本:PostgreSQL sidecar (qwen3-max)
来源:postgres_sidecar
领域:电子与电气工程 / 微电子学与半导体器件
子领域:二维材料电子器件制备 / 石墨烯材料转移与衬底集成
采用机械剥离法将单层石墨烯转移至高阻硅(>10 kΩ·cm)衬底上,该衬底表面覆盖300 nm厚热氧化SiO₂层,用于构建双栅石墨烯场效应晶体管的高质量沟道材料平台。
Aliases
别名与线索
Mechanical Exfoliation of Single-Layer Graphene on High-Resistivity Silicon Substrate
Supporting Papers